上海交通大學(xué)微納科學(xué)技術(shù)研究院系學(xué)校直屬研究院，是專門從事微米納米科學(xué)與技術(shù)基礎(chǔ)和應(yīng)用基礎(chǔ)研究，以原創(chuàng)性成果和經(jīng)濟(jì)建設(shè)為目標(biāo)，開展以非硅微細(xì)加工與微機(jī)電系統(tǒng)（MEMS）、納米生物醫(yī)學(xué)、納米電子學(xué)與器件的制造技術(shù)為主要研究方向的多學(xué)科研究平臺(tái)。學(xué)科交叉明顯，研究條件先進(jìn)，具有較強(qiáng)的科技攻關(guān)和較高的學(xué)術(shù)水平。目前設(shè)有“微電子學(xué)與固體電子學(xué)”和“納米材料科學(xué)與工程”博士點(diǎn)，“微電子學(xué)與固體電子學(xué)”碩士點(diǎn)，招收和培養(yǎng)來自不同學(xué)科的碩士、博士、博士后，設(shè)有“薄膜與微細(xì)技術(shù)”教育部重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室、“微米納米加工技術(shù)”國家級(jí)重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室。是學(xué)校“211”一期、“211”二期、“985”一期重點(diǎn)投資建設(shè)單位之一。
研究院位于上海交通大學(xué)閔行校區(qū)綜合實(shí)驗(yàn)樓。

　　自上世紀(jì)九十年代中期起，研究院系統(tǒng)地開展微機(jī)電系統(tǒng)、三維非硅微加工技術(shù)和單電子器件等方向的應(yīng)用基礎(chǔ)研究，隨后，相繼開展納米電子學(xué)及器件、納米探測器和傳感器、碳納米管、碳化硅晶須和復(fù)合材料、各種納米薄膜、納米超順磁性顆粒、納米超順磁性復(fù)合微球、樹形分子、金納米粒子等方向的基礎(chǔ)理論及應(yīng)用技術(shù)研究，取得了一系列國內(nèi)先進(jìn)水平的科研成果和重要進(jìn)展：主要在非硅材料的三維微細(xì)加工技術(shù)中，兆聲波顯影技術(shù)、深層微盲區(qū)小孔電鑄技術(shù)、微復(fù)制技術(shù)等微制造技術(shù)處于國內(nèi)領(lǐng)先，成為國內(nèi)三維非硅材料重要加工和研究基地之一；直徑1mm和2mm的電磁型微馬達(dá)、重量0.1克的微型直升飛機(jī)、模數(shù)0.03直徑2mm的微行星齒輪減速器、MEMS密碼鎖、形狀記憶合金薄膜驅(qū)動(dòng)的微泵，單電子特性的原理型晶體管，金剛石鍍層技術(shù)，納米碳管制備及排布技術(shù)、納米傳感器制備及集成技術(shù)、納米壓印曝光技術(shù)；納米超順磁性材料可控設(shè)備技術(shù)、磁熱療技術(shù)、材料表面分子設(shè)計(jì)與修飾等，其中“實(shí)用電磁型微馬達(dá)關(guān)鍵技術(shù)研究”獲2000年國家技術(shù)發(fā)明二等獎(jiǎng)、“原位復(fù)合法抗紫外聚酯纖維”和“MEMS強(qiáng)鏈及其應(yīng)用研究”獲2006年教育部技術(shù)發(fā)明一等獎(jiǎng)、“同步輻射空間姿態(tài)可調(diào)連續(xù)變焦超長準(zhǔn)直和聚焦系統(tǒng)”獲2006教育部科技獎(jiǎng)專利發(fā)明一等獎(jiǎng)。

　　研究院所屬實(shí)驗(yàn)室面積為5000m2，其中凈化面積1400m2，主要設(shè)備：高真空納米薄膜濺射系統(tǒng)、多靶磁控濺射系統(tǒng)、雙面光刻機(jī)、反應(yīng)離子刻蝕儀、掃描電子顯微鏡、電化學(xué)分析儀、等離子增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積儀、電子束蒸發(fā)沉積設(shè)備、真空熱壓機(jī)、俄歇電子能譜儀、表面輪廓儀、氧化擴(kuò)散爐、4噸18兆去離子水系統(tǒng)、高效液相色譜儀、熒光分光光度計(jì)、Zata電位分析儀等設(shè)備構(gòu)成微器件與微系統(tǒng)研究和納米生物醫(yī)學(xué)與納米器件研究的主要裝備。

　　研究院有中科院院士一名，兼職院士二名、長江學(xué)者一名，校特聘教授一名、教授（包括研究員3名）14名，副教授14名，博士生導(dǎo)師10名，兼職博士生導(dǎo)師4名；通過來自物理、化學(xué)、材料、電子、計(jì)算機(jī)、精密機(jī)械、自動(dòng)化、生物等學(xué)科的多年凝煉與融合，已形成一支多學(xué)科交叉的學(xué)術(shù)和研究隊(duì)伍。