干刻蝕對(duì)于不同負(fù)載效應(yīng)造成選擇比差異導(dǎo)致的缺陷分析與解決方案

全部作者： 趙弘鑫 程秀蘭 第1作者單位： 中芯國際集成電路制造有限公司 論文摘要： 在半導(dǎo)體制造工藝的干法刻蝕（Dry Etching）中，對(duì)于刻蝕薄膜表面面積大小的差異性會(huì)造成負(fù)載效應(yīng)（Loading effect）。然而這種負(fù)載效應(yīng)影響到干刻蝕的蝕刻率（Etch Rate）和選擇比(Selectivity)而在產(chǎn)品上出現(xiàn)嚴(yán)重的缺陷。本文闡述了負(fù)載效應(yīng)的基本原理和造成選擇比差異性的成因以及對(duì)于由此產(chǎn)生產(chǎn)品缺陷的具體解決方案。 關(guān)鍵詞： 半導(dǎo)體制造，干法刻蝕，負(fù)載效應(yīng)，選擇比，缺陷 (瀏覽全文) 發(fā)表日期： 2008年04月30日 同行評(píng)議：

（暫時(shí)沒有）

綜合評(píng)價(jià)： （暫時(shí)沒有） 修改稿：

【干刻蝕對(duì)于不同負(fù)載效應(yīng)造成選擇比差異導(dǎo)致的缺陷分析與解決方案】相關(guān)文章：

對(duì)于的風(fēng)險(xiǎn)管理分析07-25

我國城鄉(xiāng)收入差距對(duì)消費(fèi)的引致效應(yīng)分析與對(duì)策選擇07-24

基于質(zhì)量差異的廣告效應(yīng)研究08-01

中英思維差異對(duì)于英語段落展開的影響08-20

不同類型枕頸畸形的手術(shù)方式選擇及療效分析05-01

時(shí)間性差異與暫時(shí)性差異的比較分析09-09

金屬材料焊接中的缺陷分析及對(duì)策分析09-15

煤炭經(jīng)濟(jì)熱效應(yīng)分析07-20

投資基金羊群效應(yīng)分析06-25

企業(yè)購并的成本效應(yīng)分析08-05