介觀壓阻效應(yīng)及器件研究

全部作者： 張文棟 熊繼軍 薛晨陽 張斌珍 仝召民 第1作者單位： 中北大學(xué)信息與通信工程學(xué)院 論文摘要： 介紹了GaAs/AlAs/InGaAs雙勢壘超晶格薄膜結(jié)構(gòu)的介觀壓阻效應(yīng)以及幾種基于此效應(yīng)的新型傳感器件。闡述了介觀壓阻效應(yīng)的4個過程，結(jié)合空氣橋結(jié)構(gòu)和歐姆接觸技術(shù)，在[001]晶向半絕緣GaAs襯底上加工出來了GaAs/AlAs/InGaAs共振隧穿結(jié)構(gòu)（RTS），并對其進行了加壓試驗研究，發(fā)現(xiàn)其介觀壓阻靈敏度達到2.54×10-9 Pa-1，是硅壓阻靈敏度的1個數(shù)量級以上。采用控制孔技術(shù)成功加工出了基于RTS的圓膜壓力、4梁加速度和仿生矢量水聲3種新型納機電器件，并分別對其進行了壓力罐、振動臺和水下駐波測試。結(jié)果表明圓膜壓力傳感器具有較好的力電耦合特性；4梁加速度計的壓阻靈敏度隨RTS兩端偏置電壓可調(diào)，并在微分負阻（NDR）區(qū)具有最大壓阻靈敏度；矢量水聽器具有良好的“8”字余弦指向性，靈敏度在1000Hz時達到-184.6dB，可以實現(xiàn)水平面內(nèi)的水下聲信號探測。 關(guān)鍵詞： 介觀壓阻效應(yīng)，共振隧穿結(jié)構(gòu)，納機電 (瀏覽全文) 發(fā)表日期： 2007年12月14日 同行評議：

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