懸臂接觸式RF MEMS開關(guān)的設(shè)計

全部作者： 張義愷 第1作者單位： 北京郵電大學(xué)自動化學(xué)院 論文摘要： 本文研究的金屬接觸型RF MEMS開關(guān)由懸臂梁，驅(qū)動電極，金屬觸點等部分構(gòu)成。基于微波、材料和機(jī)械設(shè)計因素的考慮，本次設(shè)計選取了氮化硅作為懸臂梁的材料，以保證有材料具有良好的機(jī)械特性和化學(xué)穩(wěn)定性。并選擇金作為接觸金屬，是由于金在穩(wěn)定性和導(dǎo)電性方面的優(yōu)勢。懸臂梁為PECVD制作的氮化硅薄膜,聚酰亞胺作為犧牲層,運用等離子體刻蝕法釋放犧牲層。研究了懸梁、電極的制作工藝,并分析了犧牲層的制作和刻蝕工藝對開關(guān)結(jié)構(gòu)的影響，并對開關(guān)進(jìn)行失效分析。 關(guān)鍵詞： 微機(jī)電系統(tǒng)，射頻開關(guān)，閾值電壓，失效 (瀏覽全文) 發(fā)表日期： 2007年07月23日 同行評議：

作者應(yīng)當(dāng)通過實驗來驗證其設(shè)計的正確性,可是其并未做實驗,沒有在實驗中修正其設(shè)計,理論分析不準(zhǔn)確.　

綜合評價： 修改稿： 注：同行評議是由特聘的同行專家給出的評審意見，綜合評價是綜合專家對論文各要素的評議得出的數(shù)值，以1至5顆星顯示。

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